技术参数：

s产品尺寸：400mm×300mm×700mm（长宽高）

s对准方式：搜索边缘/Mark点

s电源：220V单相电

sCycle Time： 1s

s产量≥3600pcs

s检测综合精度：±3um

sUptime≥99.9%

s漏检率≤0.1%

sf.  误判率≤2%

项目说明 ：

s电池片尺寸检测: 通过4个边缘相机，对整个硅片进行定位，求得四边长度，从而算出硅片长度及宽度；

s图案整体偏移检测: 通过四相机，测量刻蚀线距硅片边缘距离，及角度，计算出刻蚀图像相对硅片整体偏移量,包含（X,Y,T三个方向）;

sMark点间距误差;

s开槽宽度检测/线间距/PT值监控。